Wie viel wissen Sie über Siliziumnitrid in Siliziumnitrid-Substraten?

Lassen Sie mich heute vorstellenSilikonn Nitridunter dem Leistungsaspekt.

Über physikalische Eigenschaften

Erstens die thermischen Eigenschaften von Siliziumnitrid. Es handelt sich um ein feuerfestes Hochtemperaturmaterial ohne Schmelzpunkt. Unter Normaldruck zersetzt es sich bei etwa 1900℃. Es verfügt über eine starke Beständigkeit gegen Hochdruckkriechen. Der Lasterweichungspunkt von reaktiv gesintertem Siliziumnitrid ohne Bindemittel kann bis zu 1800℃ betragen. Dann hat es eine gute Wärmeleitfähigkeit und einen kleinen Wärmeausdehnungskoeffizienten. Es verfügt außerdem über eine gute elektrische Isolierung, eine kleine Dielektrizitätskonstante und eine hohe Durchbruchspannung.

Über chemische Eigenschaften

Siliziumnitridhat eine gute Oxidationsbeständigkeit und reagiert in trockener Atmosphäre unter 800℃ nicht mit Sauerstoff. Darüber hinaus ist es beständig gegen Korrosion geschmolzener Metalle, benetzt die elementare Metallschmelze (außer Kupfer) nicht und korrodiert nicht. Ein weiteres Merkmal ist, dass es in Flusssäure leicht löslich ist und mit verdünnter Säure nicht funktioniert.

Über mechanische Eigenschaften

Siliziumnitridhat eine gute Hochtemperaturfestigkeit. Die Hochtemperaturfestigkeit bei 1200 °C nimmt im Vergleich zur Raumtemperaturfestigkeit nicht wesentlich ab. Darüber hinaus ist die Kriechgeschwindigkeit bei hohen Temperaturen sehr gering. Diese werden alle durch die Natur starker kovalenter Bindungen bestimmt. Es weist eine hohe Härte auf, die nur von wenigen superharten Materialien wie Diamant, kubischem BN, B4C usw. übertroffen wird. Außerdem verfügt es über einen niedrigen Reibungskoeffizienten und selbstschmierende Eigenschaften, ähnlich der Oberfläche von geöltem Metall.

Das Obige ist die heutige Einführung inSiliziumnitridaus den drei Aspekten physikalische Eigenschaften, chemische Eigenschaften und mechanische Eigenschaften.